Asosiy ishlash va tuzilish xususiyatlari:
1. Hudud zichligi o'lchagichi va matritsa yopiq pastadir boshqaruvini tashkil qilishi mumkin.
2.O'lchamlarni aniqlash uchun yopiq pastadir nazorati bilan CCD tizimi.
3.Toplovchi lentani qoldiqlarga yopishtiring.
4.Double qatlamli atala substratning bir tomonida qoplanishi mumkin.
5. MES tizimi bilan birga ishlang va uskunalar uchun bulutli boshqaruvni boshqaring.

Sifat monitoringi va qayta aloqa:
1. Onlayn aniqlash uchun rentgen nurida maydon zichligi o'lchagich.
2.O'lcham va nuqsonlarni aniqlash uchun CCD tizimi.
3.NG belgisi inkjet bosib chiqarish.
4. Pech ichidagi elektrod yuzasida IQ orqali haroratni o'lchash.
5.Ommaviy oqim o'lchagich oqim, yopishqoqlik va haroratni onlayn nazorat qiladi.
6.Katodli pech uchun NMP konsentratsiyasi monitoringi va anodli pech uchun namlikni aniqlash.